基于复合电介层的双银低辐射镀膜玻璃

       <申请号>200410018113

        <申请人>上海耀皮工程玻璃有限公司、上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司

        本发明自玻璃基板向外依次为：玻璃／电介质层（１）／银层（１）／保护层（１）／复合电介质层（１）／银层（２）／保护层（２）／电介质层（２）；其中：电介质层（１）为ＳｎＯ_２，通过交流阴极的锡靶在氧氩氛围中溅射，银层（１）、（２）为Ａｇ，通过直流平靶在氩气氛围中溅射；保护层（１）、（２）为ＮｉＣｒ，通过直流平靶在氩气氛围中溅射镍铬合金，其中Ｎｉ∶Ｃｒ＝８０∶２０；复合电介质层（１）为ＴｉＯ_ｘ／ＳｎＯ_２／ＴｉＯ_ｘ结构，通过交流阴极的氧化钛靶和锡靶在氧氩氛围中溅射，电介质层（２）为Ｓｉ_３Ｎ_４，通过交流阴极的硅铝合金靶在氮氩氛围中溅射得到，Ｓｉ∶Ａｌ＝９０∶１０，优点是，具有红外线反射能力强，膜层表面辐射率低等优良特性的玻璃。